规范
LABmaster手套箱工作站(MBRAUN)
PLA-501F掩模对准器(佳能)
6000系列试验台(微型机械手)
Solaris 150 RTP系统(表面科学集成)
Solaris 150是一个用于R的手动加载RTP系统&D和前期制作. Solaris 150最多可以处理152个.4mm基板在温度范围从RT- 1300度. Solaris独特的温度测量系统几乎不需要对不同晶圆类型和背面发射率差异进行校准.
Solaris采用独特的PID过程控制器，确保精确的温度稳定性和均匀性. 该系统可容纳四个互锁mfc气体混合和形成气体处理. Solaris设计用于硅植入物退火和监测，以及化合物半导体植入物激活和欧姆合金化.
概述
- 优异的重复性通过使用最先进的热电偶信号调理.
- 用户友好的软件，允许用户与数据交互，包括9种不同的绘图选项.
- 工作温度范围:RT - 1300摄氏度
- 气体输送系统能够多达6个质量流量控制器.
- 区域控制温度增强过程控制，并允许顶部或底部加热仅作为一种选择.
- 晶圆容量:1个″至6个″，可提供样品夹.
- Sic涂层电纳可用于III-V加工.
石英衬垫可用于BPSG/PSG加工
等离子体-热790反应离子蚀刻机
150瓦太阳模拟器(Oriel)
WS-400B-6NPP旋涂机(劳雷尔)
图像
